低溫等離子設備技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限；電子束照射技術有一很窄的氣體流速范圍。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，其應用廣泛不言而喻。
低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成沒毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得很快速。作為環境污染處理領域中的一項具有很強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
低溫等離子設備去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場＋電子→高能電子
(2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱
低溫等離子設備可應用在電子行業的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理，手機屏幕的表面處理；國防工業的航空航天電連接器表面清洗；通用行業的絲網印刷、轉移印刷前處理等。通過處理，可以使塑料具有阻隔性、金屬具備抗腐蝕能力，或者玻璃具備抗臟污能力。素材經過處理以后，涂裝或者印刷的品質_，質量更穩定，耐久性更長。低溫等離子設備，可以使用戶特定的加工過程，成為效率高的、經濟的、環保的加工工藝。
