光等離子凈化器現在也被大家稱為低溫等離子凈化器，該凈化器設備在電催化總的設計概念下，主要是分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但是在原理上有它相似的地方。

光等離子凈化器化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

1.電場+電子→電子

2.電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

3.活性基團+分子(原子)→生成物+熱

4.活性基團+活性基團→生成物+熱

光等離子凈化器在進行外加電場的相關作用下，該凈化器設備是可以進行介質放電從而可以產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理領域中的一項具有潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。